电子束光刻机正在做应用测试。
中国科技重镇杭州市的官方媒体称，中国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州诞生，有望打破国际出口管制困局，精度比肩国际主流设备，标志着量子晶片研发从此有了中国刻刀。
中共杭州市委机关报《杭州日报》14日披露上述消息。报道引述未具名的浙江大学余杭量子研究院相关团队负责人说，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。
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报道称，“羲之”取名自书法家王羲之。上述负责人介绍称，这台设备专攻量子晶片、新型半导体研发的核心环节，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线宽8纳米，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在晶片上精准作画，适合晶片研发初期的反复调试。
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报道称，这类设备此前受到国际出口管制，中国科学技术大学、之江实验室等中国顶尖科研机构长期无法采购，“羲之”的落地有望打破这一困局。此外，“羲之”的定价还低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。
官媒杭州《都市快报》称：“羲之电子束光刻机的成功应用测试，是我国高端半导体核心装备国产化的重大突破。这把自主可控的中国刻刀，将为加速国产高端晶片的研发进程、抢占未来科技制高点提供坚实的装备基础。”
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